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空气洁净度等级表
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空气洁净
度 (N)
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大于或等于表中粒径的最大浓度限值(个/立方米)
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0.1um
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0.2um
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0.3um
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0.4um
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1um
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5um
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1
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10
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2
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2
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100
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24
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10
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4
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3
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1000
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237
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102
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35
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8
|
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4
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10000
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2370
|
1020
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352
|
83
|
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5
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10000
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23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
|
6
|
100000
|
237000
|
102000
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35200
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8320
|
293
|
|
7
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352000
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83200
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2930
|
|
8
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3520000
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832000
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29300
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9
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35200000
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8320000
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293000
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备注:
国际通用说法为1—9级,但通俗说法常以0.1UM悬浮粒子数为标准而称为十级,百级等.
1 洁净室的温、湿度要求如下:
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房间性质
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温度(摄氏度)
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湿度(%)
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冬季
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夏季
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冬季
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夏季
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生产工艺有温湿度要求
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按生产工艺要求确定
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生产工艺无温湿度要求的
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20~22
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24~26
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30~50
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50~70
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人员净化及生活用室
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16~20
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26~30
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2 洁净室内洁净新鲜空气量应取下列二项中的最大值:
补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气之和.
保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气不小于40立方.
3 洁净室与周围的空间必须维持一定的压差.不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差,应不小于5PA,洁净区与室外的压差应不小于10PA.
4 送风、回风和排风系统的启闭应联锁.正压洁净室联锁程序为先启动送风机,再启回风机和排风机;关闭时联锁程序应相反.
5 洁净室送风量,应取下列三项中的最大值:为保证空气洁净度等级的送风量,根据热、湿负荷计算确定的送风量,向洁净室风供给的新鲜空气量.
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空气洁净度
等级
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气流流型
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平均风速
(M/S)
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换气次数
(次/小时)
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1~4
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单向流
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0.3~0.5
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5
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单向流
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0.2~0.5
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6
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非单向流
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50~60
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7
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非单向流
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15~25
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8~9
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非单向流
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10~15
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室内人员少、热源少时,宜采用下限值,换气次数适用于层高小于4.0米的洁净室.
6 单向流洁净室内不宜布置洁净工作台,非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台.
7 需排风的工艺设备宜布置在洁净室的下风侧.
8 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备,尖设局部排风装置.
9 空气洁净度高于6级的洁净室内不应设地漏.
10 洁净厂房应设备用照明,无采光窗洁净工作面的照度值,不低于下表规定的数值:
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识别对象的最小尺寸d(mm)及场所
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视觉工作分类
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亮度对比
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照度(LX)
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等级
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`混合照明
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一般照明
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d≤0.15
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Ⅰ
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甲
乙
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大
小
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2500
1500
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500
300
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0.15≤d≤0.3
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Ⅱ
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甲
乙
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大
小
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1000
750
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300
200
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0.3≤d≤0.6
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Ⅲ
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甲
乙
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大
小
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750
750
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200
200
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d＞0.6
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Ⅳ
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750
|
200
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通道、休息室
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100
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暗房工作室
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30
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一般照明最低照度值是指距墙面1M,距地面为0.75M假定工作面上最低照度.
洁净厂房应设置空调系统等的自动控制系统.净化空调系统电加热器,应设置无风、超温断电保护.若采用电加湿器时应设置无水保护.洁净室的空调净化系统要采取防静电接地措施.
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